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2019-09-04 14:09 | 산업

삼성전자, 日 불화수소 일부 국산으로 대체 투입

수출규제 두달만에 국내 업체 제품 투입...LG디스플레이·SK하이닉스 등 불화수소 국산화 임박

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사진=뉴시스
[웹데일리=김민호 기자]

삼성전자가 자사 반도체 공정에 국산 불화수소를 투입한 것으로 확인됐다. 불화수소는 반도체 웨이퍼를 깎는 식각 공정과 불순물 세정 작업에 사용되는 핵심소재로 일본이 세계시장의 70% 이상을 차지하고 있다.

4일 업계에 따르면 삼성전자는 최근 일부 공정에 일본산 대신 국내 업체가 생산한 고순도 불화수소를 투입했다. 삼성전자가 국산 불화수소를 사용한 것은 일본 정부가 수출 규제를 선언한 후 약 두 달만이다.

불화수소는 반도체 공정에서 반도체 생산을 위한 웨이퍼를 식각하거나 표면 세정에 사용된다. 앞서 일본 정부가 수출 규제를 강화한 3대 품목(포토레지스트·불화수소·폴리이미드) 중 하나로, 일본은 지난달 29일 불화수소의 한국 수출을 한차례 허가한 바 있다.

공정에 투입된 불화수소는 국내 솔브레인과 이엔에프테크놀로지 등에서 제조한 제품으로 알려졌다. 기존 일본산 불화수소를 수입해 재가공한 후 납품했지만, 이를 중국·대만산으로 전환해 공급에 성공한 것이다.

당초 불화수소가 삼성전자에 납품되기까지 최대 6개월 이상이 시간이 소요될 것으로 알려졌다. 하지만 국내 업체들의 테스트가 예상보다 빨리 진행돼 생산 공정 투입 일정이 앞당겨진 것으로 보인다. LG디스플레이도 국산 불화수소 안정화 테스트를 마치고 이달 중 일부 생산 공정에 투입할 예정이며 SK하이닉스도 조만간 테스트를 마치고 국산 불화수소를 투입할 것으로 알려졌다.

김민호 웹데일리 기자 news@webdaily.co.kr

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